포스코, 반도체용 희귀가스 ‘네온’ 생산 국산화 성공

포스코, 반도체용 희귀가스 ‘네온’ 생산 국산화 성공

이기철 기자
이기철 기자
입력 2022-01-12 11:00
수정 2022-01-12 11:00
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포스코가 반도체 제조에 필수적인 희귀가스 네온(Ne)의 생산 설비 및 기술을 국내 처음으로 국산화하고 성공적으로 첫 제품을 출하했다. 포스코는 12일 광양제철소 산소공장에서 ‘네온 생산 설비 준공 및 출하식’을 진행했다.

네온은 최근 반도체 시장의 급성장에 따라 제논(Xe), 크립톤(Kr) 등 반도체 생산에 필수적으로 사용되는 희귀 가스다. 업계는 2020년 약 1600억 원 규모였던 국내 희귀가스 시장이 2023년에는 약 2800억 원 규모로 확대되는 등 연평균 20%가량 성장할 것으로 전망하지만 전량 수입에 의존하고 있다.

특히 네온은 공기 중에 0.00182% 밖에 없을 정도의 희귀가스로, 반도체 노광공정(빛을 이용해 반도체 실리콘 웨이퍼에 전자 회로를 새기는 작업)에서 사용되는 파장이 매우 짧은 자외선인 엑시머 레이저 가스의 원재료 중 하나다. 과거 무역 분쟁 등에 따른 가격 폭등과 공급 부족을 겪으며 국산화 시도가 이뤄졌지만, 외국 기술에 의존한 개발에 그쳤고 이 역시도 생산이 중단된 상태다.

이에 포스코는 반도체용 특수가스 전문기업인 TEMC와 협력, 2019년 말부터 약 2년에 걸쳐 네온 생산의 완전 국산화를 추진해왔다. 제철 공정용 가스 생산에 사용 중인 대형 공기분리장치를 활용해 광양제철소 산소공장과 TEMC의 기술력을 기반으로 국내 최초의 네온 생산 설비를 자체 개발했다. 또한 이를 통해 추출한 네온을 TEMC가 독자 기술로 정제한 후 완제품인 엑시머 레이저 가스까지 생산하는 전 공정 국산화를 완성했다.

이번에 준공한 설비는 고순도 네온 기준 연간 약 2만 2000N㎥(노멀 입방미터)를 생산할 수 있으며, 이는 국내 수요의 16%가량을 충족할 것으로 예상된다. 올해 설비를 준공하고 본격적인 상업 생산에 들어가게 되었다.

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